申請人應檢附下列文件向中央主管機關提出申請：
一、申請計畫書，應包括書面一式十份，word 格式電子檔案光碟二份，載明下列事項：
（一）基本資料：包括計畫名稱、計畫緣起、計畫目標、施工與展示之執行期程及預定宣導方法。
（二）計畫內容：
二、履約保證文件：示範系統非由申請人自設者，申請人應於申請前與示範系統設置者簽訂示範系統設置契約書或意向書；其簽訂意向書者，應於示範獎勵核定後一個月內完成契約書之簽訂；契約書應載明設置者自計畫核定之日起一年內完成示範系統之設置，且應配合示範運轉，並提出示範系統設置補助相同額度之保證金或銀行履約保證。
三、各示範機組或示範系統之同意備案文件影本。
四、申請躉購之示範機組，須提供通過本部標準檢驗局或能源局認可之測試機構測試認證文件，包括功率性能量測、噪音量測、持久性測試與安全及功能評估。
五、其他經中央主管機關指定之文件。

同一案件向二個以上機關申請補助者，應列明全部經費內容與向各機關申請補助之項目及金額。