受補助人應於示範計畫審查通過後，檢具領據及納入預算證明書，向中央主管機關申請撥付示範計畫作業費用。

受補助人應於核定補助案全數示範機組或示範系統取得設備登記後一個月內，備齊下列文件向中央主管機關申請撥付經核定之補助費用總額百分之四十，逾期者視為放棄補助：
一、領據。
二、納入預算證明書。
三、經費支出明細表。
四、示範系統竣工報告：包括發電設備登記文件、示範機組製造商出具之新品保證書、購置證明、完工照片與位置圖、安裝廠商出具之裝置容量證明文件或其產品型錄、符合國內外相關檢測標準之原廠性能測試報告影本及經受補助人或其代理人簽署之完工驗收文件。

前項補助費用總額含示範計畫作業費用。