規劃評估階段之獎勵額度以新臺幣二百萬元為上限。

執行設置階段之獎勵額度經費以下列情形為上限，且不得超過新臺幣一千萬元：
一、再生能源發電設備獎勵額度不得超過再生能源發電設備經費之百分之二十。
二、儲能設備獎勵額度以每瓩時新臺幣一萬二千元為上限，且不得逾儲能設備總設置金額之百分之四十。

前項獲獎勵設置之再生能源發電設備所產生電力，其電能躉購費率計算公式之期初設置成本參數須扣除再生能源發電設備獎勵費用。