高放射性廢棄物最終處置設施興建、運轉、封閉與免於監管審查費及場址特性調查、興建、運轉、封閉檢查費，其收費標準如下：
一、場址特性調查檢查費，每年每一設施新臺幣一千萬元。
二、興建、運轉審查費，每一申請案各新臺幣六千萬元。
三、興建、運轉、封閉檢查費，每年每一設施各新臺幣二千萬元。
四、封閉或免於監管審查費，每一申請案新臺幣二千萬元。