雇主對於常溫下具有自燃性之四氫化矽（矽甲烷）之處理，除依高壓氣體相關法規規定外，應依下列規定辦理：
一、氣體設備應具有氣密之構造及防止氣體洩漏之必要設施，並設置氣體洩漏檢知警報系統。
二、氣體容器之閥門應具有限制最大流率之流率限制孔。
三、氣體應儲存於室外安全處所，如必須於室內儲存者，應置於有效通風換氣之處所，使用時應置於氣瓶櫃內。
四、未使用之氣體容器與供氣中之容器，應分隔放置。
五、提供必要之個人防護具，並使勞工確實使用。
六、避免使勞工單獨操作。
七、設置火災時，提供冷卻用途之灑水設備。
八、保持逃生路線暢通。