開發特殊性工業區，應依下列規定時程及監測頻率辦理空氣品質監測事宜：
一、新設之特殊性工業區於區內任一屬特殊性工業之固定污染源設置完成正式運轉日起；擴大之特殊性工業區及一般性工業區經擴大成為特殊性工業區者，於區內任一增設之屬特殊性工業之固定污染源設置完成正式運轉日起；中華民國一百零一年九月二十二日（含）前已開發之特殊性工業區，自空氣品質監測設施設置計畫經直轄市、縣（市）主管機關通知審查通過之日起一年後，其空氣品質監測項目之監測頻率如下：
（一）空氣品質監測以自動監測設施進行者，應連續進行監測。
（二）以人工操作監測設施進行者，戴奧辛每年應監測一次；附表二所列有害空氣污染物每六日應進行一次連續二十四小時樣品採集及分析；其餘監測項目每六日應依中央主管機關公告或認可檢測方法監測一次。
二、變更之特殊性工業區及一般性工業區經變更成為特殊性工業區者，於區內任一增設之屬特殊性工業之固定污染源設置完成正式運轉日後第二年之空氣品質監測項目監測頻率如下，第三年起依前款規定辦理：
（一）空氣品質監測以自動監測設施進行者，每月應進行一次連續二十四小時監測。
（二）以人工操作監測設施進行者，戴奧辛每年應監測一次；附表二所列有害空氣污染物每月應進行一次連續二十四小時樣品採集及分析；其餘監測項目每月應依中央主管機關公告或認可檢測方法監測一次。

前項所稱固定污染源設置完成正式運轉日，指該固定污染源所屬製程固定污染源操作許可證登載之有效起始日。

空氣品質監測設施設置計畫所載人工操作監測時程規劃表之採樣日及前置作業日遇設施所在地依法停止上班及上課者，停止監測作業，不適用第一項規定。