本法第十五條所稱特殊性工業區，指工業區內容納下列類別之特殊性工業，且其合計基地面積超過總基地面積四分之一者：
一、金屬冶煉業：
（一）以礦石為原料之金屬冶煉工業，包括煉銅、鋅、鎘、鋁、鎳、鉛、鋼鐵等工業。
（二）以廢鐵為原料之電弧爐煉鋼業。
二、煉油工業：以原油為原料之煉製工業。
三、石油化學基本原料工業：指石油化學基本原料之製造工業，包括乙烯、丙烯、丁烯、丁二烯、芳香烴等基本原料之製造工業。
四、紙漿工業：以稻草、蔗渣、木片、樹皮為原料之化學紙漿製造工業（包括嫘縈紙漿）。
五、水泥製造工業：以礦石為原料製造水泥之工業。
六、農藥原體製造工業：指農藥原體合成、製造工業（無合成作業之加工業除外）。
七、煉焦工業：以煤為原料煉製焦炭之工業。
八、以煤、油或氣體為燃料之電力業。
九、樹脂、塑膠、橡膠製造工業：經由聚合反應製造樹脂、塑膠、橡膠、橡膠產品之工業。其無聚合反應僅調配、加工者，不在此限。
十、石油化學中間原料業：以石化基本原料，產製中間原料或產品之工業。
十一、酸鹼工業：各種無機酸（如硫酸、鹽酸、硝酸、氫氟酸）、鹼（如燒鹼、純鹼）之製造工業。
十二、半導體製造工業：指從事積體電路晶圓製造、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業之工業。
十三、光電材料及元件製造業：指從事液晶面板製造及其相關材料、元件或產品製造之工業。
十四、其他經中央主管機關指定之工業。

本法施行細則第十五條第一項所稱特殊性工業區擴大，指一般性工業區及特殊性工業區總基地面積變大，其容納之特殊性工業類別面積增加，且合計基地面積超過總基地面積四分之一者；所稱特殊性工業區變更，指一般性工業區及特殊性工業區總基地面積未變化，但容納特殊性工業類別面積增加者。

新設特殊性工業區及擴大特殊性工業區內擴大區域之特殊性工業，應集中坐落於不直接與區界外其他土地使用分區相鄰之區位。