新設特殊性工業區緩衝地帶之設置，應符合下列規定之一：
一、緩衝地帶之面積不得少於該工業區總面積百分之十二。
二、緩衝地帶之最小寬度應依下式規定：Ｗ＝３√Ａ（Ａ為工業區總面積、單位為公頃；Ｗ為緩衝地帶最小寬度、單位為公尺），且不得小於六十公尺。

新設特殊性工業區與工業區外之住宅區、學校、醫院或生態保護區毗鄰者，其緩衝地帶之寬度，不得小於六十公尺。

新設之特殊性工業區，其綠帶及隔離水道之面積，不得少於緩衝地帶面積百分之七十。

新設之特殊性工業區應於區內任一屬特殊性工業之固定污染源設置完成正式運轉日前，完成緩衝地帶設置。

前項所稱固定污染源設置完成正式運轉日，指該固定污染源所屬製程固定污染源操作許可證登載之有效起始日。