開發特殊性工業區，應於適當地區設置空氣品質監測設施，其監測項目如下：
一、氣象監測項目：
（一）風向。
（二）風速。
（三）溫度。
（四）相對濕度。
（五）降雨量。
二、一般空氣污染物監測項目：
（一）懸浮微粒（PM 10）
（二）細懸浮微粒（PM 2.5）。
（三）二氧化硫（SO2） 。
（四）氮氧化物（NOx） ，包括一氧化氮（NO）及二氧化氮（NO2） 。
（五）一氧化碳（CO）。
（六）臭氧（O3）。
（七）總碳氫化合物（THC） 。
三、其他空氣污染物監測項目：
（一）容納之特殊性工業類別含煉油工業、石油化學基本原料工業、樹脂、塑膠、橡膠製造工業或石油化學中間原料業之一者，應監測附表一所列有機光化前驅物、附表二所列有害空氣污染物、甲醛及乙醛。
（二）容納之特殊性工業類別含金屬冶煉業、煉油工業、石油化學基本原料工業、以煤、油或氣體為燃料之電力業、樹脂、塑膠、橡膠製造工業、石油化學中間原料業、半導體製造工業或光電材料及元件製造業之一者，應監測懸浮微粒（PM10）中之鎳、砷、鎘、錳、鈹、鉛化合物及總懸浮微粒（TSP） 中之六價鉻（Cr6+）。
（三）容納之特殊性工業類別含半導體製造工業或光電材料及元件製造業之一者，應監測無機酸（包含氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸及硫酸）、醋酸、氨氣及氯氣。
（四）容納之特殊性工業類別含煉油工業、石油化學基本原料工業、紙漿工業、農藥原體製造工業、樹脂、塑膠、橡膠製造工業或石油化學中間原料業之一者，應監測硫化氫、甲硫醇、二硫化碳、硫化甲基、二硫化甲基、氨氣及甲基胺類。甲基胺類檢測方法於中央主管機關公告前，得以監測三甲基胺取代。
（五）容納之特殊性工業類別含金屬冶煉業、煉油工業、石油化學基本原料工業、紙漿工業、水泥製造工業、以煤、油或氣體為燃料之電力業、石油化學中間原料業之一者，應監測戴奧辛。
四、其他經主管機關指定之監測項目。