排氣管規格＝（S×Z）／（A×H）×100％＜5％
一、採用密閉集氣系統或圍封式集氣系統連通至污染防制設備，使削減率達百分之八十五或揮發性有機物排放濃度一百五十ppm以下。
二、設置符合排氣管規格之固定頂蓋，且廢水直接進流活性污泥處理單元處理。
三、採用浮動式頂蓋。
四、採用其他經證明符合第一款削減率或排放濃度之防制措施，並報經地方主管機關核可者。
一、工業區綜合廢（污）水處理廠收受區內石化製程廢（污）水之水量未達廢（污）水廠進水量百分之四十。
二、因安全考量、情形特殊、無民眾陳情疑慮，報經地方主管機關核可者。

S：排氣管內徑面積（㎡）
一、採用密閉集氣系統或圍封式集氣系統連通至污染防制設備，使削減率達百分之八十五或揮發性有機物排放濃度一百五十ppm以下。
二、設置符合排氣管規格之固定頂蓋，且廢水直接進流活性污泥處理單元處理。
三、採用浮動式頂蓋。
四、採用其他經證明符合第一款削減率或排放濃度之防制措施，並報經地方主管機關核可者。
一、工業區綜合廢（污）水處理廠收受區內石化製程廢（污）水之水量未達廢（污）水廠進水量百分之四十。
二、因安全考量、情形特殊、無民眾陳情疑慮，報經地方主管機關核可者。

Z：液面距設備上緣之最小距離（m）
一、採用密閉集氣系統或圍封式集氣系統連通至污染防制設備，使削減率達百分之八十五或揮發性有機物排放濃度一百五十ppm以下。
二、設置符合排氣管規格之固定頂蓋，且廢水直接進流活性污泥處理單元處理。
三、採用浮動式頂蓋。
四、採用其他經證明符合第一款削減率或排放濃度之防制措施，並報經地方主管機關核可者。
一、工業區綜合廢（污）水處理廠收受區內石化製程廢（污）水之水量未達廢（污）水廠進水量百分之四十。
二、因安全考量、情形特殊、無民眾陳情疑慮，報經地方主管機關核可者。

A：設備液面面積（㎡）
一、採用密閉集氣系統或圍封式集氣系統連通至污染防制設備，使削減率達百分之八十五或揮發性有機物排放濃度一百五十ppm以下。
二、設置符合排氣管規格之固定頂蓋，且廢水直接進流活性污泥處理單元處理。
三、採用浮動式頂蓋。
四、採用其他經證明符合第一款削減率或排放濃度之防制措施，並報經地方主管機關核可者。
一、工業區綜合廢（污）水處理廠收受區內石化製程廢（污）水之水量未達廢（污）水廠進水量百分之四十。
二、因安全考量、情形特殊、無民眾陳情疑慮，報經地方主管機關核可者。

H：排氣管高度（m）
一、採用密閉集氣系統或圍封式集氣系統連通至污染防制設備，使削減率達百分之八十五或揮發性有機物排放濃度一百五十ppm以下。
二、設置符合排氣管規格之固定頂蓋，且廢水直接進流活性污泥處理單元處理。
三、採用浮動式頂蓋。
四、採用其他經證明符合第一款削減率或排放濃度之防制措施，並報經地方主管機關核可者。
一、工業區綜合廢（污）水處理廠收受區內石化製程廢（污）水之水量未達廢（污）水廠進水量百分之四十。
二、因安全考量、情形特殊、無民眾陳情疑慮，報經地方主管機關核可者。