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半導體製造業空氣污染管制及排放標準  ( 112年05月04日)
第 7 條
既存製程未能符合第四條排放標準或第五條設置規定者,公私場所應於本標準修正施行後六個月內,檢具空氣污染改善計畫,向直轄市、縣(市)主管機關申請核定改善期限,並應於期限屆滿前完成改善至符合本標準之規定。

前項空氣污染改善計畫至少應包含製程原(物)料、設施或防制設備改善種類、構造、效能、流程、設計圖說、設置經費及進度,且其改善期限不得逾十八個月。

未能於第一項核定改善期限內完成改善者,公私場所得於期限屆滿前一至三個月內,檢具展延說明、規劃及變更改善計畫,向直轄市、縣(市)主管機關申請核准展延改善期限,展延之改善期限不得逾十二個月。但展延改善經直轄市、縣(市)主管機關另予核准改善期限者,不在此限。