前條第一項監測設施汰換、量測位置變更之日、第二項故障或損壞發生日及第三項拆除日起十日內，公私場所應完成該監測設施之固定污染源第一次檢測，至提報監測設施確認報告書完成審核前，或拆除安裝後完成零點偏移及全幅偏移測試符合性能規格前之期間內，該監測設施之固定污染源應每週實施檢測一次，並應作成紀錄，保存六年備查。但有下列情形之一，報經直轄市、縣（市）主管機關核可者，不在此限：
一、因不可歸責於己之事由，致無法符合檢測規定之頻率。
二、固定污染源執行歲（檢）修或停工期間。
三、僅涉及數據採擷及處理系統汰換者，於原數據採擷及處理系統可正常運作期間。

前項每週實施檢測之結果，符合下列情形之一者，公私場所得檢具相關證明資料，向直轄市、縣（市）主管機關報備後，調整為每二週檢測一次。
一、檢測結果連續二次皆小於其排放標準值之二分之一，且二次排放係數值差異在百分之二十以內。
二、檢測結果連續二次皆小於二十ppm與排放標準值，且其二次檢測濃度差值小於六ppm。
三、稀釋氣體、排放流率或廢氣燃燒塔各量測項目連續二次檢測結果差異在百分之二十以內。

前項檢測頻率之調整，不同監測項目應個別認定之。但稀釋氣體或排放流率同時與氣狀污染物實施檢測時，其檢測頻率應與氣狀污染物監測項目之最小檢測頻率一致。