本辦法用詞，定義如下：
一、連續自動監測設施（以下簡稱監測設施）：指可連續自動採樣、分析、記錄與計算固定污染源空氣污染物、稀釋氣體排放濃度或排放流率之設施，包含採樣及分析設施與數據採擷及處理系統。
二、採樣及分析設施：指監測設施之採樣界面、污染物分析器、稀釋氣體分析器、流率感應器或溫度感應器。
三、數據採擷及處理系統：指監測設施之數據訊號傳輸、記錄及計算之軟體與硬體，包含數據記錄器、訊號傳輸之可程式控制器或遠端控制器。
四、連線設施：指監測設施之監測數據與直轄市、縣（市）主管機關進行連線作業之紀錄檔產生程式、執行傳輸模組之電腦與程式及電信線路。
五、分時系統監測設施：指可連續自動採樣、分析、記錄與計算二個以上排放管道固定污染源空氣污染物、稀釋氣體排放濃度或排放流率之監測設施。
六、汰換：指監測設施進行採樣界面全部更換、採樣界面類型更換、分析器或感應器更換、數據採擷及處理系統程式碼調動或連線設施進行連線作業之紀錄檔產生程式調動。
七、量測位置變更：指監測設施之採樣位置、量測點或量測路徑之改變。
八、拆除：指監測設施進行分析器或感應器拆卸，未涉及監測設施汰換或量測位置變更。
九、維護：指公私場所依監測數據品質保證計畫書，定期執行之預防性保養作業與非定期執行之修復性維修作業。
十、量測範圍：指監測設施可量測之最小值與最大值之範圍。
十一、零點：指公私場所依其空氣污染物、稀釋氣體排放濃度及排放流率之實際排放狀況，以監測設施零點校正標準氣體或校正器材設定量測範圍內所能量測之最小值。
十二、全幅：指公私場所依其空氣污染物、稀釋氣體排放濃度及排放流率之實際排放狀況，以監測設施全幅校正標準氣體或校正器材設定量測範圍內所能量測之最大值。
十三、零點偏移：指監測設施操作一定期間後，以零點校正標準氣體或校正器材進行測試所得之差值。
十四、全幅偏移：指監測設施操作一定期間後，以全幅校正標準氣體或校正器材進行測試所得之差值。
十五、校正誤差查核：指以監測設施製造廠商或認可機構提供之校正衰光器或其他校正器材量測不透光率，計算校正誤差之查核方式。
十六、相對準確度測試查核：指以監測設施及中央主管機關所定之檢驗測定方法，同步量測固定污染源排放管道氣體排放，測試三次以上，每次三組數據，計算相對準確度之測試查核方式。
十七、相對準確度查核：指以監測設施及中央主管機關所定之檢驗測定方法，同步量測固定污染源排放管道氣體排放，測試一次以上、每次三組數據，計算相對準確度之查核方式。
十八、標準氣體查核：指監測設施以兩種以上不同濃度且未經稀釋標準氣體量測之數據，計算準確度之查核方式。
十九、原始數據：指監測設施採樣及分析時，未經校正之可記錄最小頻率實測值，使用層析分析原理之監測設施者，應包括層析圖譜。
二十、監測數據紀錄值：指監測設施之原始數據以凱氏溫度二百七十三度及一大氣壓下未經稀釋之乾燥排氣體積為計算基準，並依本法第二十條第二項所定之各行業別排放標準進行含氧百分率校正計算，且經過系統偏移校正計算後之值。