光電業裝設污染防制設備處理空氣污染物至符合第四條排放標準規定者，其流量計及污染防制設備之監測設施規定如下：
一、污染防制設備之揮發性有機物廢氣導入處或排放口應設置氣體流量計；濕式洗滌設備之洗滌水循環管線應設置液體流量計。
二、污染防制設備應設置操作運轉條件之監測設施，並應依附表所列項目及頻率進行記錄。
三、監測設施之每季有效監測時數百分率應大於百分之八十。氣體流量計及液體流量計每年應校正一次。

前項污染防制設備操作運轉紀錄應保存五年備查。

第一項流量計及監測設施因故無法設置者，得提出替代監測方案，報請地方主管機關核可。