主管機關受理第五條、第六條之申請，應依下列程序審查，並將審查結果作成准駁決定：
一、書面審查：主管機關應於收到申請資料後，通知申請人於七日內繳納審查費，並於審查費繳納翌日起三十日內完成書面完整性審查。
二、現勘、實測審查：書面審查通過後，主管機關應通知申請人於七日內繳納審查費，並於審查費繳納翌日起九十日內完成現勘審查，並自現勘審查通過翌日起九十日內完成實測審查。必要時，主管機關得延長審查期限三十日。

未依前項規定期限繳納審查費者，主管機關應駁回其申請。