本辦法用詞定義如下：
一、補助專案：指研究專案及模場試驗專案。
二、研究專案：指原創且有計畫獲得科學性或技術性新知識之基礎研究、應用研究及技術發展者。
三、模場試驗專案：指引進國外、研發本土化之技術或設備運用於模場進行試驗實作者。
四、申請單位：指依本辦法規定申請補助專案者。
五、執行單位：指經核定補助專案者。
六、專案主持人：指負責執行及協調研究專案之人員。