本辦法用詞，定義如下：
一、繳費人：指附表一及附表二應徵收土壤及地下水污染整治費物質之製造者及輸入者。
二、化學物質：指附表一應徵收土壤及地下水污染整治費物質經由化學反應生產者。
三、直接產製原料：指可直接產製附表一應徵收土壤及地下水污染整治費物質之原料。
四、免徵比率：指應徵收土壤及地下水污染整治費化學物質，其直接產製原料已繳納土壤及地下水污染整治費費額與其應繳納土壤及地下水污染整治費費額比率之百分比。
五、物質輸入量：指進口報單（淨重欄）所登載報關日重量。
六、物質產生量：指生產報表中所記載當季物質製造量之總和，若該物質徵收類別非為廢棄物且不適用免徵比率者，當其製造之原料已於當季繳納整治費，該物質之產生量得減扣其原料已繳納整治費之重量，其減扣量以該物質之產生量為上限。若該物質徵收類別為廢棄物，產生量需與該繳費人當季於中央主管機關指定之網路傳輸申報系統所申報之出廠聯單量總和相同。