專科以上學校之設立程序如下：
一、國立專科以上學校：由本部審酌全國專科以上學校之分布情形，提出籌設計畫設立之。
二、直轄市立專科以上學校：由直轄市政府提出籌設計畫，報本部核定。
三、縣（市）立大學：由各縣（市）政府提出籌設計畫，報本部核定。
四、私立專科以上學校：依私立學校法及相關規定提出籌設計畫，報本部核定。

前項籌設計畫，應符合環境影響評估、水土保持及土地使用分區管制等相關法令之規定。