專科以上學校之設立程序如下：
一、國立專科以上學校：由本部審酌全國專科以上學校之分布情形，提出籌設計畫設立之。
二、直轄市立專科以上學校：由直轄市政府提出籌設計畫，報本部核定。
三、縣（市）立大學：由各縣（市）政府提出籌設計畫，報本部核定。
四、私立專科以上學校：依私立學校法及相關規定提出籌設計畫，報本部核定。

前項籌設計畫，應符合環境影響評估、水土保持及土地使用分區管制等相關法令之規定。

前條籌設計畫，應載明下列事項：
一、籌設計畫之緣起或興學目的。
二、學校名稱。
三、整體發展方向及特色。
四、學校位置、校地面積、校舍、設備及相關資料。
五、教學單位及行政單位之規劃。
六、擬設學院、系、所、學程、科、組、班、級及附屬機構。
七、擬聘師資之規劃。
八、圖書、儀器等教學設備之規劃。
九、學校土地清冊、位置圖及環境說明。
十、學校經費概算。

申請設立私立專科以上學校者，除前項規定外，籌設計畫並應包括下列事項：
一、為捐贈土地或租用土地者，應依私立學校法第三十六條規定辦理，並檢附相關證明文件。
二、財務規劃、經費來源及其證明文件。
三、設校資金、建校費用、通常經營所需經費概算及其證明文件。
四、學校法人相關資料。

大學設立基準如下：
一、校地：
（一）學校校地可開發使用面積至少應有五公頃。但正式學籍之學生總人數三千人以下之學校，依下列規定辦理：
（二）農學院應另有五公頃以上之土地，作為實習農場用地。
二、校舍：
（一）應有足夠之教學、研究及服務場所，與學校行政、學生活動、住宿所需之校舍及運動場地。
（二）新設學校核准設立時，校舍建築應完成總樓地板面積達一萬二千平方公尺以上，並於核准立案之第二學年開學前完成校舍建築總樓地板面積達二萬平方公尺以上。校舍建築應取得使用執照，方得列入計算。
（三）學校校舍建築總樓地板面積，依專科以上學校總量發展規模與資源條件標準規定方式列計。
三、設備：
（一）應針對各院、系、所、學程課程之實際需要，備置足夠之教學、輔助及實驗（習）設備。
（二）應有圖書館，並備置足夠之基本圖書、資訊、專門期刊及相關設備。
（三）醫學院應具備自有或合作而得供使用之教學醫院。
四、師資：全校生師比值、日間學制生師比值、研究生生師比值、專任助理教授以上師資結構及師資質量、師資數之計算方式，依專科以上學校總量發展規模與資源條件標準規定辦理。
五、私立大學設校經費及基金：私立大學申請立案時，其設校經費及基金應符合下列規定：
（一）應有充足之設校經費（包括購地、租地、建築、設備等經費）及維持學校基本運作所需之每年經費，且應提供明確之設校財源證明。
（二）應依學校類型籌足設校基金，存入銀行專戶。大學新臺幣十四億元；獨立學院醫學類新臺幣十億元、工學類新臺幣六億元、其他類新臺幣四億元；技術學院新臺幣四億元。

專科學校設立基準如下：
一、校地：
（一）學校校地可開發使用面積至少應有四公頃。但正式學籍之學生總人數三千人以下之學校，依下列規定辦理：
（二）農業類型應另有五公頃以上之土地，作為實習農場用地。
二、校舍：
（一）應有足夠之教學、實習及特別教室或場所，與學校行政、學生活動所需之校舍及運動場地。
（二）新設學校核准設立時，校舍建築應完成總樓地板面積達六千平方公尺以上，並於核准立案之第二學年開學前完成校舍建築總樓地板面積至少達一萬平方公尺。校舍建築應取得使用執照，方得列入計算。
（三）學校校舍建築總樓地板面積，依專科以上學校總量發展規模與資源條件標準規定方式列計。
三、設備：
（一）應針對各類專科學校之特殊性質及各種課程之實際需要，備置足夠之教學、輔助及實驗（習）設備。
（二）應有圖書館，並備置足夠之基本圖書、資訊、專門期刊及相關設備。
四、師資：全校生師比值、日間學制生師比值、研究生生師比值、專任助理教授以上師資結構及師資質量、師資數之計算方式，依專科以上學校總量發展規模與資源條件標準規定辦理。
五、私立專科學校設校經費及基金：私立專科學校申請立案時，其設校經費及基金應符合下列規定：
（一）應有充足之設校經費（包括購地、租地、建築、設備等經費）及維持學校基本運作所需之每年經費，且應提供明確之設校財源證明。
（二）應籌足設校基金新臺幣二億元，存入銀行專戶。