取得特定工廠登記業者有下列情形之一者，直轄市、縣（市）主管機關應以書面撤銷或廢止其特定工廠登記：
一、本法第二十條歇業之情形。
二、本法第二十五條第一項各款所定情事之一。
三、本法第二十八條之九第一項各款所定情事之一，經限期改善而屆期未改善。
四、依第十五條第一項檢附之證明文件經相關主管機關通知撤銷、廢止或失效，且經直轄市、縣（市）主管機關限期補正而屆期未補正或補正不完全。
五、未履行第十九條第七項之負擔，經直轄市、縣（市）主管機關限期改正而屆期未改正。

取得特定工廠登記業者有發生重大環境污染、重大工安事故，致嚴重影響鄰近工廠或民眾安全者，直轄市、縣（市）主管機關得廢止其特定工廠登記。