公司購置自行使用於先進製程之全新機器或設備之支出申請適用投資抵減者，應依前條第一項規定辦理，並檢附與申請適用投資抵減支出項目有關之下列文件，向中央目的事業主管機關申請審查當年度投資支出項目是否屬先進製程之全新機器或設備，逾期申請者，中央目的事業主管機關應不予受理：
一、自行由國內購置者（包含經由代理商、經銷商或貿易商購置）：
（一）統一發票影本及付款證明文件影本。
（二）交貨證明文件影本或相關文件。
二、自行由國外進口者：
（一）付款證明文件影本。
（二）海關核發之進口報單影本、註明運輸工具到港日期之進口證明書影本或相關文件。
三、以融資租賃方式向租賃公司購置者：
（一）統一發票影本及付款證明文件影本。
（二）租賃契約書影本。
四、自行製造或委由他人製造者：
（一）轉供自用之統一發票影本或帳載紀錄、委託他人製造所取具之統一發票影本及付款證明文件影本。
（二）成本明細表、委託製造契約影本或相關證明文件影本。

公司當年度依前條及前項規定申請審查者，應併案提出。