中央目的事業主管機關應成立審查小組，審查下列事項：
一、公司是否符合第三條第一項序文、第一款至第三款及第二項規定之資格條件。
二、公司是否從事前瞻創新研究發展活動。
三、公司從事前瞻創新研究發展活動相關支出之項目。
四、公司購置自行使用於先進製程之全新機器或設備相關支出之項目。
五、第一款資格條件經審查不符者，得依第二十條規定辦理審查。
六、其他有關事項。

前項審查小組置委員十一人以上，其中一人為召集人，由中央目的事業主管機關指派之人兼任；一人為副召集人，由召集人指派兼任；委員逾半數應屬專家學者；其餘委員由本部、財政部、國家發展委員會、國家科學及技術委員會及其他機關代表兼任。