違反第五條第一項規定擅自建廠者，處新臺幣一百萬元以上五百萬元以下罰鍰，並勒令停工、補辦手續；必要時，得限期令其拆除設施。

依前項規定勒令停工後，擅自復工，或屆期未拆除設施者，處新臺幣二百萬元以上一千萬元以下罰鍰，並強制其拆除設施。

依前項規定強制拆除後，擅自復工經制止不從者，處三年以下有期徒刑或拘役，得併科新臺幣三百萬元以下罰金。