廢氣燃燒塔應設置下列監測設施：
一、母火溫度感應器及監視器。但本標準修正前已裝設具備溫度感應功能之母火溫度量測器者，則不需拆除更換為母火溫度感應器。
二、於導入廢氣之管線設置流率感應器及具顯示總淨熱值之廢氣成分及濃度監測設施，石油煉製製程應加設總硫濃度監測設施。但本標準修正前已裝設具流速測定功能之流量計者，則不需拆除更換為流率感應器。
三、供應母火之獨立燃料系統流量計。
四、裝設水封槽設備者，設置顯示水封操作狀態之水封槽壓力計於水封槽前。
五、蒸氣輔助燃燒型式廢氣燃燒塔設置蒸氣流量計。

前項各款其監測設施校正及性能規範應符合下列規定：
一、第一款母火溫度感應器應連線至地方主管機關，每季有效監測時數應大於百分之九十五；並應於每次廢氣燃燒塔歲修時執行校正，且符合溫度量測誤差正負百分之二之性能規範。
二、第二款監測設施安裝及性能規範應符合固定污染源空氣污染物連續自動監測設施管理辦法規定。
三、第三款至第五款監測設施應每年校正一次。

依固定污染源空氣污染物連續自動監測設施管理辦法規定免設置廢氣成分及濃度監測設施者，仍應自行或委託依本法第四十九條取得中央主管機關核給許可證之檢驗測定機構每六天檢測一次。

公私場所應於每年一月、四月、七月及十月之月底前，向地方主管機關申報前一季廢氣燃燒塔之操作時間、廢氣流量、排放速度、母火燃料氣流量、水封槽之壓力、總淨熱值、廢氣成分及濃度、蒸氣流量及空氣污染物排放量計算結果資料；其為具有石油煉製製程之公私場所，並應同時申報原油煉製量紀錄。

第一項各款監測紀錄及其校正紀錄，應符合下列規定：
一、第一款廢氣燃燒塔母火監視器紀錄應保存二星期備查。
二、第二款監測設施應符合固定污染源空氣污染物連續自動監測設施管理辦法規定。
三、第一款廢氣燃燒塔母火溫度感應器、第三款燃料系統流量計、第四款水封槽壓力計及第五款蒸氣流量計應每一小時紀錄一次一小時監測數據值，且應保存六年備查。